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小型真空鎢舟熱蒸鍍儀

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

小型真空鎢舟熱蒸鍍儀KT-Z1650CVD是一款小型多功能鍍膜儀,額定1800度高溫,自動(dòng)樣品擋板,靶臺(tái)旋轉(zhuǎn),觸摸屏多段控制,工藝儲(chǔ)存等功能。

產(chǎn)品型號(hào):KT-Z1650CVD
更新時(shí)間:2024-03-27
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
訪問(wèn)量:1427
詳細(xì)介紹在線留言
品牌鄭科探產(chǎn)地類別國(guó)產(chǎn)
應(yīng)用領(lǐng)域化工,電子

小型真空鎢舟熱蒸鍍儀KT-Z1650CVD

是一款小型多功能鍍膜儀,額定1800度高溫,自動(dòng)樣品擋板,靶臺(tái)旋轉(zhuǎn),觸摸屏多段控制,工藝儲(chǔ)存等功能。

正空蒸發(fā)鍍膜包括以下基本過(guò)程:
(1)加熱蒸發(fā)過(guò)程:包括由凝聚相轉(zhuǎn)變?yōu)闅庀嗟倪^(guò)程,每種蒸發(fā)物質(zhì)在不同的溫度有不同的飽和蒸氣壓。
(2)氣態(tài)原子或分子在蒸發(fā)源與基片之間運(yùn)輸,即原子或分子在環(huán)境氣氛中的飛行過(guò)程。

(3)蒸發(fā)原子或分子在基片表面張得沉積過(guò)程。即是蒸發(fā),凝聚,成核,核生長(zhǎng),形成連續(xù)的膜。由于基板溫度遠(yuǎn)

低于基板溫度遠(yuǎn)低于蒸發(fā)源溫度,因此,氣態(tài)分子在基片表面將發(fā)生直接由氣態(tài)到固態(tài)的相轉(zhuǎn)變過(guò)程。


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以下是不同真空度 不同鍍膜時(shí)間鍍銅樣品圖

637858771737832260197.png   原樣品沒(méi)有鍍膜                       637858771732996198687.png  115A 100秒 機(jī)械泵

637858771732840196319.png115A 100秒 分子泵抽12分鐘    637858771732684194803.png  115A 120秒 分子泵抽20分鐘


真空度越高 越不易氧化 越接近金屬本色


小型真空鎢舟熱蒸鍍儀KT-Z1650CVD

控制方式

7寸人機(jī)界面 手動(dòng) 自動(dòng)模式切換控制

加熱方式

數(shù)字式功率調(diào)整器

鍍膜功能

0-9995段可變換功率及擋板位和樣品速度程序

最大功率

1200W

最大輸出電壓電流

電壓≤12V  電流≤120A

真空度

機(jī)械泵 ≤5Pa5分鐘)   分子泵≤10^-3Pa

擋板類型

電控

真空腔室

石英+不銹鋼腔體φ160mm x 160mm

樣品臺(tái)

可旋轉(zhuǎn)φ62  (最大可安裝φ50基底)

樣品臺(tái)轉(zhuǎn)速

8轉(zhuǎn)/分鐘

樣品蒸發(fā)源調(diào)節(jié)距離

70-140mm

蒸發(fā)溫度調(diào)節(jié)

1800

支持蒸發(fā)坩堝類型

鎢絲藍(lán)  帶坩堝鎢絲藍(lán)  鎢舟  碳繩  

預(yù)留真空接口

KF25抽氣口  KF16真空計(jì)接口  KF16放氣口 6mm卡套進(jìn)氣口

可選配擴(kuò)展

機(jī)械真空泵(可抽真空 5分鐘<5Pa  

數(shù)顯真空計(jì)(測(cè)量范圍大氣壓到0.1Pa

分子泵機(jī)組(可抽真空20分鐘≤5x10-3Pa



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