亚洲国产精品久久久久久网站,日韩黄色理论片,中文字幕不卡在线,成人看片黄A免费看

技術(shù)文章

Technical articles

當前位置:首頁技術(shù)文章PVD制備K型薄膜熱電偶的研究

PVD制備K型薄膜熱電偶的研究

更新時間:2020-04-28點擊次數(shù):2102

      熱電偶元件是在工業(yè)、科研中廣泛使用的一種溫度傳感器,具有測溫范圍廣,堅固耐用,無自發(fā)熱現(xiàn)象,使用方便等優(yōu)點。薄膜熱電偶除了繼承上述普通熱電偶的優(yōu)點外,還具有熱容小,響應速度快,幾乎不占用空間,對被測物體影響小的優(yōu)點。本研究為制備K型薄膜熱電偶選擇了電子束蒸發(fā)鍍,磁控濺射,多弧離子鍍?nèi)NPVD方法。其中一部分樣片的NiCr/NiSi薄膜均由磁控濺射均由磁控濺射沉積,另一部分樣片的NiCr薄膜由磁控濺射沉積,而NiSi薄膜由電子束蒸發(fā)沉積。所制備得到的薄膜熱電偶樣片使用SEM(EDS),數(shù)顯溫度儀,恒溫爐進行了表征和靜態(tài)標定。結(jié)果表明這兩部分樣片均存在合金成分偏析的現(xiàn)象,平均Seebeck系數(shù)與國家標準也有較大差異。

   分析后我們認為:

(1)在鄭州科探儀器磁控濺射中,濺射產(chǎn)額和濺射能量閾值是引起合金膜偏析的重要原因,不同元素的濺射產(chǎn)額和濺射能量閾值差別越大,偏析現(xiàn)象越嚴重。同時還和實驗順序有關(guān),隨著實驗進行偏析現(xiàn)象有所減弱,這是由于靶面和靶深層原子濃度不同引起原子擴散導致的。

(2)在電子束蒸發(fā)中,NiSi合金物料的偏析主要是由熔融的Ni、Si二者密度差距太大,物料在坩堝中分層引起的。同時隨著實驗的進行偏析現(xiàn)象會越來越嚴重,因為密度較小的Si始終在物料上方,在蒸鍍過程中逐漸耗盡而只剩下Ni。此外,本文研究還使用電弧離子鍍嘗試沉積了 NiSi膜,結(jié)果有嚴重的“跑弧”現(xiàn)象,實驗無法正常進行。我們結(jié)合靶周圍磁場的仿真結(jié)果和真空陰極電弧的基本理論對這種異常的弧光放電進行了分析。結(jié)果表明Ni的高臨界場強和受干擾的磁場都會使電弧向靶外移動,導致“跑弧”。后針對“跑弧”提出了一些解決方案。

日韩精品一区二区三区| 91亚洲va在线天线va天堂va国产| 亚洲一区二区三区乱码AⅤ| 亚洲午夜久久久久久久| 国产精品美女久久久久久2021| 精品视频二区| 亚洲人成人无码www| 欧美av电影在线播放| 亚洲欧美性都花花世界爱爱网| 亚洲丁香婷婷久久一区二区| 韩国最新伦理片电影| 久久久久久综合色| 国产精品白丝喷水jk娇喘视频| 中文字幕在线日韩| 日韩成人一级片在线观看| 嘘嘘女厕在线综合第一区| 国内不卡一二三四区| 亚洲人成网站色在线观看| 欧美一区二区三区爽爽爽爽| 欧美一区二区三区精品久久| 欧美性,日韩性,亚洲性| 欧美国产日韩911在线观看| 亚洲欧美日韩国产一区乱| 亚1州区2区3区4区产品乱码2021| 特黄熟妇丰满人妻无码| 国产日韩欧美一区二区三区在线| 国产黄三级高清在线观看播放| 无码日韩精品一区二区人妻| 亚洲欧美国产精品久久| 少妇人妻88久久中文字幕| 另类国产精品一区二区| 欧美日韩性生活视频| 久久国产成人午夜AV浪潮| 亚洲精品专区在线观看| 亚洲人和日本人jzz护士| 日韩卡一卡二卡新区乱码免费| 人妻夜夜爽天天爽一区| 久久久精品午夜免费不卡| 国产精品久久久久久婷婷| 顶级丰满少妇自慰到喷水| 中文乱码一线二线三线|