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高精度大型真空探針臺

產(chǎn)品簡介

高精度大型真空探針臺,移動滑塊精度0.01mm,探針尖10μm,鍍金鎢針,物鏡放大倍數(shù)19-135倍

產(chǎn)品型號:KT-Z160T-RL
更新時間:2024-03-27
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
訪問量:1167
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品牌鄭科探

高精度大型真空探針臺,移動滑塊精度0.01mm,探針尖10μm,鍍金鎢針,物鏡放大倍數(shù)19-135倍

-196℃到400℃(液氮);

超高溫度分辨率;

低溫具有*穩(wěn)定性

當晶圓加熱至300℃,400℃,500℃甚至更高溫度時,氧化現(xiàn)象會越來越明顯,并且溫度越高氧化越嚴重。過度氧化會導致晶圓電性誤差,物理和機械形變。避免這些需要把真空腔內(nèi)的氧氣在測試前用泵抽走,并且保持整個測試過程泵的運轉(zhuǎn)。

    晶圓測試過程中溫度在低溫和高溫中變換,因為熱脹冷縮現(xiàn)象,定位好的探針與器件電極間會有相對位移,這時需要針座的重新定位,針座位于腔體外部。我們也可以選擇使用操作桿控制的自動化針座來調(diào)整探針的位置。

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高精度大型真空探針臺

真空腔體

腔體材質(zhì)

304不銹鋼

上蓋開啟

鉸鏈側(cè)開

加熱臺材質(zhì)

304不銹鋼

內(nèi)腔體尺寸

φ160x90mm

觀察窗尺寸

Φ70mm

加熱臺尺寸

φ60mm

觀察窗熱臺間距

75mm

加熱臺溫度

﹣196~350

加熱臺溫控誤差

±1

真空度

機械泵≤10Pa   分子泵≤10-3Pa

允許正壓

≤0.1MPa

真空抽氣口

KF25真空法蘭

氣體進氣口

3mm-6mm卡套接頭

電信號接頭

SMA轉(zhuǎn)BNC X 4

電學性能

絕緣電阻 ≥4000MΩ   介質(zhì)耐壓 ≤500V

探針數(shù)量

4探針

探針材質(zhì)

鎢針  

探針尖

10μm

探針移動平臺

X軸移動行程

30mm    ±15mm

X軸控制精度

≤0.01mm

Y軸移動行程

13mm    ±12.5mm

Y軸控制精度

≤0.01mm

Z軸移動行程

13mm    ±12.5mm

Z軸控制精度

≤0.01mm

電子顯微鏡

顯微鏡類別

物鏡

物鏡倍數(shù)

0.7-4.5

工作間距

90mm

相機

sony 高清

像素

1920※1080像素

圖像接口

VGA

LED可調(diào)光源

顯示屏

8

放大倍數(shù)

19-135倍,視場范圍15×13-2.25×1.7mm,最小可分辨0.08mm



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